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    • 专利摘要:
    EinNachgiebigkeitsmodul (10), das insbesondere für eine Handhabungsvorrichtungzum Positionieren eines Testkopfs (60) dient, ist mit einem Gehäuse (11),das ein an einem Bauteil (41) befestigbar ist, versehen. Das Nachgiebigkeitsmodul(10) ist zudem mit einer Innenhülse(18), die verschiebbar in dem Gehäuse (11) gelagert und durchein Federelement (25) in einer axialen Richtung beaufschlagt ist,und einem Bolzen (14), der an dem Gehäuse (11) angeordnet und mitder Innenhülse(18) verbunden ist, versehen. Ein derartiges Nachgiebigkeitsmodul(10) gewährleisteteinerseits eine präziseVerstellung und andererseits eine gewisse Nachgiebigkeit von den Testkopf(60) positionierenden Positionierungsmitteln (30).
    公开号:DE102004008487A1
    申请号:DE200410008487
    申请日:2004-02-20
    公开日:2005-09-15
    发明作者:Helmuth Heigl
    申请人:Heigl, Helmuth, Dr.；
    IPC主号:B25J1-12
    专利说明:
    [0001] DieErfindung betrifft ein Nachgiebigkeitsmodul, das insbesondere für eine Handhabungsvorrichtungzum Positionieren eines Testkopfs Anwendung findet. Die Erfindungbezieht sich ferner auf eine Handhabungsvorrichtung, die insbesonderezum Positionieren eines Testkopfs an einer Prüfeinrichtung dient und mitPositionierungsmitteln, durch die ein Testkopf im Raum positionierbarist, versehen ist.
    [0002] EineHandhabungsvorrichtung oder Manipulator zum Positionieren einesTestkopfs verfügt üblicherweise über mehrereTranslations- und Rotationsfreiheitsgrade und ist insofern geeignet,den Testkopf exakt im Raum zu positionieren. Anwendung findet einesolche Handhabungsvorrichtung daher in der Regel bei der Prüfung vonelektronischen Bauelementen, wie beispielsweise integrierte Schaltungen (IC)oder Wafer. Um die Funktionsfähigkeitder elektronischen Bauelemente testen zu können, ist es erforderlich,den verhältnismässig schwerenTestkopf präzisean eine Prüfeinrichtungheranzufahren. Die Prüfeinrichtung,beispielsweise ein Devicehandler oder Waferprober, stellt die durchden Testkopf zu überprüfenden elektronischenBauelemente bereit. Ein unverfälschtesMessergebnis bei der Prüfungder elektronischen Bauelemente setzt ein genaues Andocken des Testkopfsan der Prüfeinrichtungvoraus. Aus diesem Grund ist eine präzise und leichtgängige Verstellungder den Testkopf positionierenden Handhabungsvorrichtung unerlässlich.
    [0003] Die DE 101 32 489 A1 beschreibteine Handhabungsvorrichtung, die sich durch eine exakt wiederholbareBewegung des Testkopfs auszeichnet. Dies ist vornehmlich daraufzurückzuführen, dassdie Handhabungsvorrichtung mit den Testkopf im Raum positionierendenPositionierungsmitteln versehen ist, die in horizontaler Ebene schwenkbareGelenkarme aufweisen. Die Gelenkarme sind mit in horizontaler Richtungverfahrbaren Schlitten gekoppelt, so dass sich eine beliebige Bewegungdes Testkopfs in eine Translationsbewegung der Schlitten und eineRotationsbewegung der Gelenkarme aufteilen lässt. Auf diese Weise ergibtsich eine reproduzierbare Verstellung der Positionierungsmittel,die eine zuverlässige Positionierungdes Testkopfs sicherstellt.
    [0004] Derfür einereproduzierbare Verstellung erforderlichen Präzision der Positionierungsmittelsteht entgegen, dass es sich in der Praxis als vorteilhaft erwiesenhat, die Position des Testkopfs beim Andocken an eine Prüfeinrichtungdurch ein geringfügiges, manuellesHin- und Herbewegen zu korrigieren. Eine derartige Korrektur derPosition des Testkopfs, die das Andocken erleichtert, erforderteine gewisse Nachgiebigkeit der Positionierungsmittel.
    [0005] DerErfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Nachgiebigkeitsmodul zuschaffen, das sich insbesondere für eine Handhabungsvorrichtungzum Positionieren eines Testkopfs eignet und mittels dem sich einerseitseine präziseVerstellung und andererseits eine gewisse Nachgiebigkeit erzielenlassen.
    [0006] ZurLösungdieser Aufgabe wird in Übereinstimmungmit Anspruch 1 ein Nachgiebigkeitsmodul vorgeschlagen, das mit einemGehäuse,das an einem Bauteil befestigbar ist, einer Innenhülse, dieverschiebbar in dem Gehäusegelagert und durch ein Federelement in einer axialen Richtung beaufschlagt ist,und einem Bolzen, der an dem Gehäuseangeordnet und mit der Innenhülseverbunden ist, versehen ist.
    [0007] DaserfindungsgemässeNachgiebigkeitsmodul, das sich insbesondere bei einer Handhabungsvorrichtungzum Positionieren eines Textkopfs einsetzen lässt, ermöglicht es, bewegbar gelagerte Bauteile,zum Beispiel einen Testkopf im Raum positionierende Positionierungsmittel,entgegen der Wirkung einer Rückstellkraftzwischen einer ersten Stellung und einer zweiten Stellung hin- undherzubewegen. Auf diese Weise erfährt das Bauteil eine gewisseNachgiebigkeit. Die durch das Federelement in der axialen Richtungdes Nachgiebigkeitsmoduls hervorgerufene Rückstellkraft stellt sicher,dass trotz der durch das Nachgiebigkeitsmodul erzeugten Nachgiebigkeitdas beispielsweise einen Testkopf haltende Bauteil geeignet ist,präziseund reproduzierbar bewegt zu werden.
    [0008] VorteilhafteWeiterbildungen des erfindungsgemässen Nachgiebigkeitsmodulsstellen die Gegenständeder Ansprüche2 bis 9 dar.
    [0009] Soist vorteilhafterweise der Bolzen verschiebbar an dem Gehäuse gelagert.Der die Innenhülsein radialer Richtung abstützendeBolzen lässt sichauf diese Weise zusammen mit der Innenhülse bewegen.
    [0010] Umeine einfache Verbindung des Bolzens mit der Innenhülse zu erreichen,weist vorteilhafterweise die Innenhülse ein Innengewinde und derBolzen einen in das Innengewinde eingreifenden Gewindeabschnittauf. In diesem Zusammenhang hat es sich ferner als vorteilhaft erwiesen,wenn der Bolzen einen Kopf aufweist, der die Innenhülse entgegender Wirkung des Federelements in dem Gehäuse positioniert. Der Kopfdes Bolzens stellt einen Anschlag in axialer Richtung des Nachgiebigkeitsmodulsdar. Dies ermöglicht,das an der Innenhülseangreifende Federelement vorzuspannen. Die Grösse der auf diese Weise erzeugtenVorspannung hängtvon dem Abstand zwischen der Innenhülse und dem Kopf des Bolzensab. Durch Verändernder Einschraubstrecke, um die der Bolzen in die Innenhülse hineinragt,lässt sichder Abstand zwischen der Innenhülseund dem Kopf des Bolzens variieren und damit die gewünschte Vorspannungeinstellen. Auf Grund der Vorspannung ist sichergestellt, dass eineBewegung des Bauteils nur dann möglichist, wenn an dem Bauteil eine die Vorspannung übersteigende Kraft angreift.
    [0011] Bevorzugtist der Bolzen mittels einer Lagerhülse drehbar gelagert und dieInnenhülsedrehfest in dem Gehäuseangeordnet. Der Bolzen kann auf diese Weise in die Innenhülse eingeschraubtoder aus dieser herausgeschraubt werden, um die Vorspannung zu variieren.
    [0012] Ineiner bevorzugten Ausgestaltung des erfindungsgemässen Nachgiebigkeitsmodulsweist das Gehäuseein sich in axialer Richtung erstreckendes Langloch auf und istdie Innenhülsemit einem in das Langloch eingreifenden Mitnehmen versehen. Derin dem Langloch geführteMitnehmen hältdie Innenhülseentgegen der von dem Federelement auf die Innenhülse ausgeübten Vorspannung in dem Gehäuse undgewährleistetzugleich eine drehfeste Anordnung der Innenhülse. Die Länge des Langlochs bestimmt dieStrecke, um welche die Innenhülsein dem Gehäuseverschiebbar ist.
    [0013] Umeine reibungsarme Verschiebung zu erreichen, ist die Innenhülse zweckmässigerweisemit einer Gleitflächeversehen, die an dem Gehäuseanliegt.
    [0014] InHinsicht auf eine einfache und kompakte Ausgestaltung ist es vonVorteil, die Innenhülsemit einem Absatz zu versehen, an dem das Federelement abgestützt ist.Der Absatz ist zweckmässigerweiseso angeordnet, dass das Federelement durch einen Abschnitt der Innenhülse einezuverlässige Führung erfährt.
    [0015] Ineiner bevorzugten Ausgestaltung des erfindungsgemässen Nachgiebigkeitsmodulsist die Innenhülsemit einer Anschlagplatte versehen. Die Anschlagplatte dient dazu,ein bewegbar gelagertes Bauteil, zum Beispiel eine einen Testkopfhaltende Befestigungsplatte, mit der durch das Federelement ausgeübten Rückstellkraftzu beaufschlagen. Die Anschlagplatte kann zu diesem Zweck aus einemgeeigneten Werkstoff gefertigt sein, um beispielsweise stossunempfindlichzu sein.
    [0016] ZurLösungder oben genannten Aufgabe wird in Übereinstimmung mit Anspruch10 ferner eine Handhabungsvorrichtung, die insbesondere zum Positioniereneines Testkopfs an einer Prüfeinrichtung dient,vorgeschlagen. Die Handhabungsvorrichtung ist mit Positionierungsmitteln,durch die ein Testkopf im Raum positionierbar ist, und wenigstenseinem Nachgiebigkeitsmodul versehen. Mittels dem Nachgiebigkeitsmodulist ein bewegbar gelagertes Bauteil entgegen der Wirkung einer Rückstellkraftzwischen einer ersten Stellung und einer zweiten Stellung bewegbar.
    [0017] Einerderartigen Handhabungsvorrichtung werden die Vorteile des erfindungsgemässen Nachgiebigkeitsmodulszuteil.
    [0018] VorteilhafteAusgestaltungen der erfindungsgemässen Handhabungsvorrichtungstellen die Gegenständeder Ansprüche11 bis 17 dar.
    [0019] Soist es von Vorteil, wenn das bewegbar gelagerte Bauteil eine ersteKontaktflächeund eine zweite Kontaktfläche,die im wesentlichen parallel zueinander verlaufen, aufweist. Dieerste Kontaktfläche wirddurch ein erstes Nachgiebigkeitsmodul beaufschlagt. Die zweite Kontaktfläche hingegenwird durch ein zweites Nachgiebigkeitsmodul gegensinnig beaufschlagt.Auf diese Weise kann das bewegbar gelagerte Bauteil zwischen einerersten Stellung und einer zweiten Stellung in der axialen Richtungder Nachgiebigkeitsmodule bewegt werden. Die durch die Nachgiebigkeitsmoduleauf das bewegbar gelagerte Bauteil ausgeübte Rückstellkraft stellt sicher, dassdas Bauteil nach einem Entfernen von der ersten Stellung, das heisstder Ausgangsstellung, stets in diese zurückkehrt. Aufgrund der gegensinnigen Anordnungder Nachgiebigkeitsmodule kehrt das Bauteil sowohl bei einer Bewegungin Richtung auf das erste Nachgiebigkeitsmodul als auch bei einer Bewegungin Richtung auf das zweite Nachgiebigkeitsmodul in die Ausgangslagezurück.
    [0020] Ineiner bevorzugten Ausgestaltung ist die erfindungsgemässe Handhabungsvorrichtungmit einer Halterung fürden Testkopf versehen, wobei die Halterung zwei Seitenarme aufweist,zwischen denen der Testkopf eingespannt ist. Die den Testkopf einspannendenSeitenarme gewährleisteneine sichere Befestigung des Testkopfs, selbst dann, wenn dieserverhältnismässig schwerist.
    [0021] Vorteilhafterweisesind die Seitenarme jeweils mit wenigstens einer Befestigungsplatteversehen, an welcher der Testkopf befestigt ist und die bewegbargelagert ist. Die Befestigungsplatte stellt ein bewegbar gelagertesBauteil im oben genannten Sinn dar, an dem wenigstens ein Nachgiebigkeitsmodulangreift.
    [0022] Bevorzugtist die Befestigungsplatte linear verschiebbar angeordnet. Auf dieseWeise kann die Position des an der Befestigungsplatte befestigten Testkopfsdurch ein manuelles Hin- und Herbewegen korrigiert werden. Alternativkann die Befestigungsplatte schwenkbar angeordnet sein mit der Folge, dasssich die Position des an der Befestigungsplatte befestigten Testkopfsdurch ein Hin- und Herschwenken korrigieren lässt. Vorteilhafterweise istdie Befestigungsplatte mittels Arretierungsmitteln in einer vorgegebenenStellung arretierbar, um bei Bedarf eine fixe Anordnung des Testkopfszu realisieren.
    [0023] Einzelheitenund weitere Vorteile der Gegenständeder vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibungeines bevorzugten Ausführungsbeispiels.In den das Ausführungsbeispiellediglich schematisch darstellenden Zeichnungen veranschaulichenim einzelnen:
    [0024] 1 eineperspektivische Ansicht einer Handhabungsvorrichtung, an der einTestkopf angeordnet ist;
    [0025] 2a eineSeitenansicht eines Seitenarms, die eine an dem Seitenarm bewegbarangeordnete Befestigungsplatte in einer ersten Stellung I zeigt;
    [0026] 2b eineSeitenansicht des Seitenarms gemäss 2a,welche die Befestigungsplatte in einer zweiten Stellung II zeigt;
    [0027] 3 eineperspektivische Ansicht eines Nachgiebigkeitsmoduls und
    [0028] 4 einenSchnitt gemässder Linie IV-IV in 3.
    [0029] Diein 1 gezeigte Handhabungsvorrichtung dient zum Positioniereneines Testkopfs 60 an einer nicht dargestellten Prüfeinrichtungfür elektronischeBauelemente, wie zum Beispiel IC oder Wafer. Zu diesem Zweck verfügt die Handhabungsvorrichtung über Positionierungsmittel 30,die eine sich in vertikaler Richtung z erstreckende Säule 31 aufweisen.Die Säuleist auf einem Untergestell 34 in einer horizontalen Längsrichtungx verschiebbar angeordnet. An der Säule 31 ist ein Querschlitten 32 angeordnet,der in der vertikalen Richtung z verschiebbar ist. Der sich in einerhorizontalen Querrichtung y erstreckende Querschlitten 32 istmit einem Schwenkarm 33 verbunden. Der Schwenkarm 33 istum eine sich in der vertikalen Richtung z erstreckende Achse schwenkbarund mittels dem Querschlitten 32 in der horizontalen Querrichtungy verstellbar.
    [0030] Wie 1 fernererkennen lässt,ist an dem Schwenkarm 33 eine Halterung 40 für den Testkopf 60 angeordnet.Die Halterung 40 weist zwei Seitenarme 41 auf,zwischen denen der Testkopf 60 eingespannt ist. Zu diesemZweck sind die Seitenarme 41 jeweils mit zwei Befestigungsplatten 42, 46 versehen,an welchen der Testkopf 60 befestigt ist. Die Befestigungsplatte 42 istsowohl in horizontaler als auch in vertikaler Richtung linear verschiebbaran dem Seitenarm 41 angeordnet und zu diesem Zweck in Linearführungen 45 geführt, wieinsbesondere aus den 2a und 2b ersichtlichist. Die Befesti gungsplatte 46 hingegen ist um einen Drehzapfen 49 verschwenkbaran der Befestigungsplatte 42 angeordnet. Auf diese Weiselässt sichdie Befestigungsplatte 46 zusammen mit der Befestigungsplatte 42 entlang desSeitenarms 41 verschieben, um beispielsweise eine sogenannte „Theta"-Bewegung des Testkopfs 60 zurealisieren. Ein Feststellhebel 50 stellt sicher, dassder Testkopf 60 in der gewünschten horizontalen Stellungarretierbar ist. Demgegenüberermöglichtein Feststellhebel 51 ein Arretieren der Befestigungsplatte 42 inder gewünschtenvertikalen Stellung. Die Befestigungsplatten 42, 46 weisenjeweils eine erste Kontaktfläche 43, 47 undeine zweite Kontaktfläche 44, 48 auf,die im wesentlichen parallel zueinander verlaufen. An der erstenKontaktfläche 43, 47 greiftein erstes Nachgiebigkeitsmodul 10a und an der zweitenKontaktfläche 44, 48 einzweites Nachgiebigkeitsmodul 10b an. Das erste Nachgiebigkeitsmodul 10a unddas zweite Nachgiebigkeitsmodul 10b sind derart angeordnet,dass die Befestigungsplatten 42, 46 in entgegengesetztenRichtungen beaufschlagt werden.
    [0031] Wieaus den 3 und 4 ersichtlichist, weist das Nachgiebigkeitsmodul 10 ein Gehäuse 11 auf,das an den Befestigungsplatten 42, 46 befestigt ist.Das Gehäuse 11 istzu diesem Zweck mit Öffnungen 12 versehen.In dem Gehäuse 11 isteine Innenhülse 18 ineiner axialen Richtung des Nachgiebigkeitsmoduls 10 verschiebbargelagert. Die Innenhülse 18 istzu diesem Zweck mit einer Gleitfläche 20 versehen, diean einer Innenwand des Gehäuses 11 anliegt.Weiterhin ist die Innenhülse 18 miteinem Absatz 21 versehen, an dem ein erstes Ende einesFederelements 25 abgestütztist. Ein zweites Ende des Federelements 25 stützt sichan einer Anlagefläche 26 desGehäuses 11 ab.Das durch einen Abschnitt der Innenhülse 18 geführte Federelement 25 beaufschlagtdie Innenhülse 18 insofernin axialer Richtung.
    [0032] DasNachgiebigkeitsmodul 10 ist ferner mit einem Bolzen 14 versehen,der mittels einer Lagerhülse 17 umeine sich in der axialen Richtung erstreckende Achse drehbar gelagertist. Der Bolzen 14 weist einen an der Lagerhülse 17 inaxialer Richtung anliegenden Kopf 15 und einen in die Innenhülse 18 hineinragendenGewindeabschnitt 16 auf. Der Gewindeabschnitt 16 greiftin ein Innengewinde 19 der Innenhülse 18 ein. Die Innenhülse 18 istaufgrund eines Mitnehmers 22, der in einem Langloch 13 des Gehäuses 11 inaxialer Richtung geführtist, drehfest in dem Gehäuse 11 angeordnet.Folglich lässtsich eine Einschraubstrecke s, um die der Bolzen 14 indie Innenhülse 18 hineinragt,durch Drehen des Bolzens 14 variieren. Der Kopf 15 kannzu diesem Zweck mit Schlüsselflächen versehensein, die ein einfaches Drehen des Bolzens 14 mittels beispielsweiseeinem Schraubenschlüsselgewährleisten.
    [0033] DurchVariieren der Einschraubstrecke s lässt sich der Abstand zwischendem Absatz 21 der Innenhülse 18 und der Anlagefläche 26 desGehäuses 11 verändern. Dassich an dem Absatz 21 und der Anlagefläche 26 abstützende Federelement 25 lässt sichauf diese Weise vorspannen. Die Grösse der die Innenhülse beaufschlagendenVorspannung kann somit an den jeweiligen Anwendungsfall angepasstwerden, ohne dass es erforderlich ist, das Federelement 25 auszuwechseln.
    [0034] DieInnenhülse 18 weistein freies Ende auf, das dem Bolzen 14 abgewandt ist. Andem freien Ende ist mittels Schrauben 24 eine Befestigungsplatte 23 befestigt.Die zum Beispiel aus einem stossunempfindlichen Werkstoff bestehendeBefestigungsplatte 23 grenzt an die Kontaktflächen 43, 44, 47, 48 derBefestigungsplatten 42, 46 an. Werden die Befestigungsplatten 42, 46 vonder in 2a gezeigten ersten StellungI in die in 2b gezeigte zweite StellungII bewegt, dann wirkt diese Auslenkung der von den Nachgiebigkeitsmodulen 10a, 10b erzeugtenRückstellkraftentgegen, und zwar unabhängig davon,ob die Befestigungsplatten 42, 46 in Richtung aufdas erste Nachgiebigkeitsmodul 10a oder in Richtung aufdas zweite Nachgiebigkeitsmodul 10b bewegt werden. Diesist auf die Innenhülse 18 der Nachgiebigkeitsmodule 10a, 10b zurückzuführen, dieum die Längedes Langlochs 13 des Gehäuses 11 in axialerRichtung verschiebbar ist. Befindet sich der in dem Langloch 13 geführte Mitnehmer 22 derInnenhülse 18 inder ersten Stellung I, das heisst in der Ausgangsstellung, zum Beispielannäherndin der Mitte des Langlochs 13, dann lässt sich die Innenhülse 18 inaxialer Richtung sowohl nach links als auch nach rechts verschieben.Die Enden des Langlochs 13 begrenzen die Verschiebung derInnenhülse 18 unddefinieren somit die maximale Endstellung II, welche die Befestigungsplatten 42, 46 einnehmen können. DieVorspannung, der das Federelement 25 in der AusgangsstellungI unterliegt, lässtsich durch den Bolzen 14 einstellen. Auf diese Weise istsichergestellt, dass die Befestigungsplatten 42, 46 auchin der Ausgangsstellung I durch die Nachgiebigkeitsmodule 10a, 10b beaufschlagtwerden.
    [0035] Diezuvor beschriebene Handhabungsvorrichtung ermöglicht durch die Positionierungsmittel 30 einepräziseVerstellung des Testkopfs 60. Zudem gewährleisten die Nachgiebigkeitsmodule 10a, 10b einegewisse Nachgiebigkeit der Befestigungsplatten 42, 46,an denen der Testkopf 60 befestigt ist. Denn die Befestigungsplatten 42, 46 können zwischender Ausgangsstellung I und der Endstellung II entgegen der Wirkungeiner Rückstellkraftbewegt werden. Folglich ist es möglich,die Position des Testkopfs 60 durch ein manuelles Hin-und Herbewegen zu korrigieren. Aufgrund der von den Nachgiebigkeitsmodulen 10a, 10b erzeugtenRückstellkraftist sichergestellt, dass die Befestigungsplatten 42, 46 stetsin die Ausgangsstellung I zurückkehren.Die exakte und zuverlässigePositionierung des Testkopfs 60 wird somit nicht durchdie aufgrund der Nachgiebigkeitsmodule 10a, 10b vorhandeneNachgiebigkeit beeinträchtigt.Hierzu trägtauch bei, dass auf Grund der Vorspannung der Nachgiebigkeitsmodule 10a, 10b durchdas Federelement 25 eine Bewegung der Befestigungsplatte 42, 46 nurdann möglichist, wenn an den Befestigungsplatten 42, 46 einedie Vorspannung übersteigendeKraft angreift. Schliesslich zeichnen sich die Nachgiebigkeitsmodule 10a, 10b durch eineeinfache und kompakte Ausgestaltung aus, die den Anforderungen aneine kostengünstigeFertigung Rechnung trägt.
    10 Nachgiebigkeitsmodul 10a Nachgiebigkeitsmodul 10b Nachgiebigkeitsmodul 11 Gehäuse 12 Öffnung 13 Langloch 14 Bolzen 15 Kopf 16 Gewindeabschnitt 17 Lagerhülse 18 Innenhülse 19 Innengewinde 20 Gleitfläche 21 Absatz 22 Mitnehmen 23 Anschlagplatte 24 Schraube 25 Federelement 26 Anlagefläche 30 Positionierungsmittel 31 Säule 32 Querschlitten 33 Schwenkarm 34 Untergestell 40 Halterung 41 Seitenarm 42 Befestigungsplatte 43 ersteKontaktfläche 44 zweiteKontaktfläche 45 Linearführung 46 Befestigungsplatte 47 ersteKontaktfläche 48 zweiteKontaktfläche 49 Drehzapfen 50 Feststellhebel 51 Feststellhebel60 Testkopf s Einschraubstrecke x horizontaleLängsrichtung y horizontaleQuerrichtung z vertikaleRichtung I ersteStellung II zweiteStellung
    权利要求:
    Claims (17)
    [1] Nachgiebigkeitsmodul, insbesondere für eine Handhabungsvorrichtungzum Positionieren eines Testkopfs (60), mit einem Gehäuse (11),das an einem Bauteil (41) befestigbar ist, einer Innenhülse (18),die verschiebbar in dem Gehäuse(11) gelagert und durch ein Federelement (25)in einer axialen Richtung beaufschlagt ist, und einem Bolzen (14), deran dem Gehäuse(11) angeordnet und mit der Innenhülse (18) verbundenist.
    [2] Nachgiebigkeitsmodul nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,dass der Bolzen (14) verschiebbar an dem Gehäuse (11)gelagert ist.
    [3] Nachgiebigkeitsmodul nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,dass die Innenhülse(18) ein Innengewinde (19) aufweist und der Bolzen(14) mit einem in das Innengewinde (19) eingreifendenGewindeabschnitt (16) versehen ist.
    [4] Nachgiebigkeitsmodul nach Anspruch 2 oder 3, dadurchgekennzeichnet, dass der Bolzen (14) einen Kopf (15)aufweist, der die Innenhülse(18) entgegen der Wirkung des Federelements (25)in dem Gehäuse(11) positioniert.
    [5] Nachgiebigkeitsmodul nach einem der Ansprüche 2 bis4, dadurch gekennzeichnet, dass der Bolzen (14) mittelseiner Lagerhülse(17) drehbar gelagert und die Innenhülse (18) drehfestin dem Gehäuse(11) angeordnet ist.
    [6] Nachgiebigkeitsmodul nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet,dass das Gehäuseein sich in axialer Richtung erstreckendes Langloch (13)aufweist und die Innenhülse(18) mit einem in das Langloch (13) eingreifendenMitnehmen (22) versehen ist.
    [7] Nachgiebigkeitsmodul nach einem der Ansprüche 1 bis6, dadurch gekennzeichnet, dass die Innenhülse (18) mit einerGleitfläche(20) versehen ist, die an dem Gehäuse (11) anliegt.
    [8] Nachgiebigkeitsmodul nach einem der Ansprüche 1 bis7, dadurch gekennzeichnet, dass die Innenhülse (18) mit einemAbsatz (21) versehen ist, an dem das Federelement (25)abgestütztist.
    [9] Nachgiebigkeitsmodul nach einem der Ansprüche 1 bis8, dadurch gekennzeichnet, dass die Innenhülse (18) mit einerAnschlagplatte (23) versehen ist.
    [10] Handhabungsvorrichtung, insbesondere zum Positioniereneines Testkopfs (60) an einer Prüfeinrichtung, die mit Positionierungsmitteln(30), durch die ein Testkopf (60) im Raum positionierbarist, versehen ist, gekennzeichnet durch wenigstens ein Nachgiebigkeitsmodul(10), mittels dem ein bewegbar gelagertes Bauteil (42, 46)entgegen der Wirkung einer Rückstellkraftzwischen einer ersten Stellung (I) und einer zweiten Stellung (II)bewegbar ist.
    [11] Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 10, gekennzeichnetdurch ein Nachgiebigkeitsmodul (10) nach einem der Ansprüche 1 bis9.
    [12] Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 10 oder 11,dadurch gekennzeichnet, dass das bewegbar gelagerte Bauteil (42, 46)eine erste Kontaktfläche(43, 47) und eine zweite Kontaktfläche (44, 48), dieim wesentlichen parallel zueinander verlaufen, aufweist, wobei dieerste Kontaktfläche(43, 47) durch ein erstes Nachgiebigkeitsmodul (10)und die zweite Kontaktfläche(44, 48) durch ein zweites Nachgiebigkeitsmodul(10) gegensinnig beaufschlagt werden.
    [13] Handhabungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 10 bis12, gekennzeichnet durch eine Halterung (40) für den Testkopf(60), wobei die Halterung (40) zwei Seitenarme(41) aufweist, zwischen denen der Testkopf (60)einpannbar ist.
    [14] Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 13, dadurchgekennzeichnet, dass die Seitenarme (41) jeweils mit wenigstenseiner Befestigungsplatte (42, 46) versehen sind,an welcher der Testkopf (60) befestigt ist und die bewegbargelagert ist.
    [15] Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 14, dadurchgekennzeichnet, dass die Befestigungsplatte (42) linearverschiebbar angeordnet ist.
    [16] Handhabungsvorrichtung nach Anspruch 14, dadurchgekennzeichnet, dass die Befestigungsplatte (46) schwenkbarangeordnet ist.
    [17] Handhabungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 14 bis16, dadurch gekennzeichnet, dass die Befestigungsplatte (42, 46)mittels Arretierungsmitteln (50, 51) in einervorgegebenen Stellung arretierbar ist.
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    US8159242B2|2007-03-09|2012-04-17|Hubertus Heigl|Handling device for positioning a test head at a test station|US5241870A|1991-07-22|1993-09-07|Intest Corporation|Test head manipulator|
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    US10094854B2|2015-10-23|2018-10-09|Teradyne, Inc.|Manipulator in automatic test equipment|
    法律状态:
    2005-09-15| OP8| Request for examination as to paragraph 44 patent law|
    2007-06-28| 8364| No opposition during term of opposition|
    2018-09-01| R119| Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee|
    优先权:
    申请号 | 申请日 | 专利标题
    DE200410008487|DE102004008487B4|2004-02-20|2004-02-20|Handhabungsvorrichtung zum Positionieren eines Testkopfs|DE200410008487| DE102004008487B4|2004-02-20|2004-02-20|Handhabungsvorrichtung zum Positionieren eines Testkopfs|
    DE200420021076| DE202004021076U1|2004-02-20|2004-02-20|Nachgiebigkeitsmodul, insbesondere für eine Handhabungsvorrichtung zum Positionieren eines Testkopfs, und eine solche Handhabungsvorrichtung|
    US11/060,583| US7383746B2|2004-02-20|2005-02-18|Compliance module, particularly for a manipulator for positioning a test head, and one such manipulator|
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